石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷售電話 : 18071880998
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材料簡(jiǎn)介
Introduction
使用高品質(zhì)原材料生產(chǎn)的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片，可根據(jù)客戶要求定制。
使用高品質(zhì)的合成石英玻璃，最大尺寸可達(dá)φ300mm，最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。
主要用途
Main Application
半導(dǎo)體制成、生物技術(shù)、MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）、HTPS（高溫多晶硅TFT液晶）。
規(guī)格參數(shù)
Corresponding Specifications
厚度
尺寸公差
（ mm ）
平面度（PV）（通光面）
TTV
表面粗糙度（Ra）
劃痕
凹坑
崩邊
（ μ m ）
≥0.5 mm
直徑 ± 0.1
厚度 ± 0.02 mm
≤ λ （ λ = 632.8mm ）
≤ 1 μm （ φ 200 mm ）
≤ 0.01 μm
寬度 ≤ 10 μm
直徑 ≤ 25 μm
≤ 300 μm （楞邊）
≤ 200 μm （表面）
詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)致電詳談（尺寸φ300mm以內(nèi)）
TTV（3D圖）
TTV
TTV（曲線圖）
TTV Curve
樣品測(cè)量值
Sample Measurement
φ300 mm
平面度（PV）（通光面）
≤ λ （ λ = 632.8mm ）
表面粗糙度（Ra）≤ 0.01 μm
產(chǎn)品詳情咨詢：18272229653
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