石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷售電話 : 18071880998
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材料簡介
Introduction
電熔石英材料，具有羥基含量低、純度高、耐高溫性能強等特性。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)作為擴散爐及CVD爐元件的材料。
Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.
電熔石英錠
電熔石英管
電熔石英棒
雜質(zhì)含量
Chemical purity
FLH620L 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
13
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.5
Ni
＜0.05
Li
0.4
K
0.4
Mn
＜0.05
Na
0.6
Zr
1
Ti
1.30
B
＜0.01
FLH621 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
14.2
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.23
Ni
＜0.05
Li
0.44
K
0.25
Mn
＜0.05
Na
0.12
Zr
—
Ti
1.30
B
0.08
FLH621H 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
8.00
Ca
0.6
Mg
＜0.05
Cu
＜0.01
Fe
0.15
Ni
＜0.05
Li
0.15
K
0.07
Mn
＜0.05
Na
0.08
Zr
—
Ti
1.40
B
0.04
物理性能
Physical Property
力學(xué)性能
密度（g/cm3）
楊氏模量（GPa）
泊松比
抗彎強度（MPa）
抗壓強度（MPa）
抗拉強度（MPa）
抗扭強度（MPa）
莫氏硬度
2.2
75
0.17
65-95
1100
50
30
6-7
電學(xué)性能
介電常數(shù)
介電損耗
電阻率（Ω.cm）
3.74
0.0001
1×1016
熱學(xué)性能
應(yīng)變點（η=1014.5 ℃）
退火點（η=1013 ℃）
軟化點（（η=107.8 ℃）
熱導(dǎo)率(W/m·k)(20℃)
比熱 (J/kg.k)
熱膨脹系數(shù)( x10 -7 /k)
α ： 25℃ ~ 320 ℃
1150
1215
1710
1.38
749
5.2-5.8
注：在沒有另外說明的情況下，所有值均指在25 ℃以下。 Other sizes available upon requests.
光學(xué)性能
Optical properties
紅外透過率曲線。 Infrared Transmittance Curve.
紫外透過率曲線。 Ultraviolet Transmittance Curve.
菲利華電熔石英材料
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